ICHOR Metal Gasket Face Seal Tiptings for the Semiconductor Industry

<

لماذا تلبي تركيبات ختم الوجه المعدنية احتياجات صناعة أشباه الموصلات؟

تستمر صناعة أشباه الموصلات في متابعة رقائق الاستهلاك الأصغر والأسفل ، وبالتالي تصبح عقد العملية أصغر ، مما يضع مطالب أعلى على نظافة العملية. قد تؤدي النظافة المتدنية إلى عيوب جودة المنتج ، أو حتى نشر تلوث خط الإنتاج بأكمله ، مما يؤدي إلى عواقب وخيمة لخردة المنتج.

في أنظمة السوائل عالية النقاء والنقاء العالي (UHP) المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات ، يعد اختيار التجهيزات أحد النقاط الرئيسية. غالبًا ما يتم اختيار تركيبات اللحام ولكنها غير مناسبة للتوصيلات التي تتطلب استبدالًا أو صيانة منتظمة ، في حين أن المواد غير المعدنية من تجهيزات ختم الوجه O-Ring قد تكون غير متوافقة مع الوسائط. هل هناك تركيبات سهلة التثبيت وتفكيكها ، متوافقة مع الوسائط ، ويمكن أن تضمن ختم موثوق ؟ الجواب هو تركيبات ختم الوجه المعدنية. المزايا الرئيسية لهذه التركيبات ، التي تستخدم الحشيات المعدنية كعناصر ختم ، هي كما يلي:

• الختم الصلب من المعدن إلى المعدن ، أداء ختم جيد : عند تشديد الجوز ، ستضغط الغدة في كلا الطرفين على الحشية المعدنية من كلا الاتجاهين ، وبما أن صلابة سطح غدة الغدة تكون أعلى من الحشود المعدنية (ICHOR 316L) ، فإن السطح الفولاذ المقاوم للصدأ هو 109 HV أكثر من حشود من نفس المواد ، و 158 HV أكثر من الغازات المعدنية) سيتم تشكيل ختم الوجه الضيق بين الغدة وحشية المعادن لضمان أداء الختم. بالنسبة لمنتجات ICHOR ، يكون معدل تسرب الهيليوم القصوى هو 4x10 ^-9 STD CM ³ /S عند استخدام الفولاذ المقاوم للصدأ 316L المطلي بالفضة ، والنيكل المطلي بالفضة والحشيات النحاسية ، والحجم القصوى لتسرب الهيليوم هو 4x10 ^-11 std cm ³ /s عند استخدام 316L من الفولاذ المقاوم للصدأ والنيكيلي ؛

• إعادة التجميع المتكرر والاستخدام : لا تتلف الحشوات المعدنية المغطاة بسطح الختم للغدة ، بحيث يمكن إعادة تجميعها واستخدامها بشكل متكرر مع تغيير حشية واحد فقط في كل وقت ، مما يؤدي إلى انخفاض تكاليف الصيانة ؛
• لا توجد منطقة ميتة ، لا توجد بقايا وسهلة التطهير : تتيح هيكل تركيبات ختم وجه الحشية المعدنية لتطهير عنصر الختم بالكامل بواسطة الغاز ، وبالتالي التخلص من خطر التلوث بسبب البقايا ؛
• من السهل تثبيت هذه التركيبات وتفكيكها مع الأدوات التقليدية فقط ، والتي يمكن أن تحسن بشكل كبير من كفاءة التثبيت والصيانة .

ما هي منتجات ختم الوجه المعدنية من سلسلة ICHOR EFR؟

تتكون مجموعات تركيبات الختم المعدنية المعدنية من الغدد والحشية والجوز الإناث والجوز الذكور. بالإضافة إلى هذه الأجزاء ، تشمل تجهيزات ختم الوجه المعدنية من سلسلة ICHOR EFR هيكلًا أو قابسًا أو غطاءًا ومقيدًا للتدفق ، إلخ.

من بينها ، يجب استبدال الحشية المعدنية بعد كل تفكيك ، ويقدم ICHOR حاليًا 7 أنواع من الحشيات المعدنية:

1. حشية محتجزة: الحشوات الأكثر شيوعًا ؛

2. GASKET RETAINER ASSEMBLY: يتم تثبيت الحشية على سطح الختم للغدد من قبل التجنيب ، لذلك لا تقتصر على اتجاه التثبيت وتتمحور الحشية بشكل مثالي ؛

3. التجنيب الحمل: التركيب الشعاعي ، مناسب للتركيب في المساحات الضيقة ؛

4.Blind Gasket: كقابس مؤقت ؛

5.Snubber Gasket: مرشح معدني في الحفرة لتقليل تأثير تقلبات الضغط في خط الأنابيب ؛

6. حشية معبأة: يتم عكس الحلقة الخارجية للحشية وتشارك الغدة بعد التثبيت لمنع التغلب ؛

7. حشية الإثارة: مصممة للتحكم الدقيق للتدفق ؛

8. Ruby Orefice Rantriction Gasket: فتحة الياقوت للتسامح مع درجة الحرارة العالية ، والتوافق الكيميائي الواسع ، ومقاومة التآكل.

التشغيل السليم وفقًا لتعليمات تثبيت ICHOR ضرورية لضمان أداء الختم. تحقق أولاً من سطح الختم للتركيب والحشية لخدوش خطيرة وعيوب أخرى ، تأكد من أن سطح الختم في حالة جيدة ، ثم تجميع الغدة والحشية والجوز الإناث والجوز الذكور ، وإصبع الجوز. استخدم مفتاحًا لزيادة تشديد الجوز الإناث مع الحفاظ على الجوز الذكري الثابت ، و 1/8 بدوره لحشد الفولاذ المقاوم للصدأ وحشيات النيكل (ملاحظة: 3/8 بدوره للحشيات المبكرة) و 1/4 بدوره للحشيات النحاسية ..

FR Series Metal Gasket Face Seal Tuptings تعليمات التثبيت

يقدم ICHOR مجموعة شاملة من منتجات نقاء عالية ونقاء فائقة ، بما في ذلك صمامات الحجاب الحاجز ، والصمامات المختصة بالخلايا ، وصمامات القياس ، ومنظمات الضغط ، وكذلك أنظمة مكافحة الغاز مثل لوحات الاستخدام ، وأنظمة التغيير وأنظمة الغاز المتكاملة ، بالإضافة إلى تركيبات الختم المعدنية للوجه والذات. تتوفر تعليمات التثبيت وخدمات التدريب أيضًا. تلتزم ICHOR دائمًا بتلبية الاحتياجات المختلفة لعملائنا بمنتجات متخصصة وخدمات مهنية ، ومواصلة إنشاء قيم لعملائنا.