مقدمة إلى W-Seal و C-seal

تتكون أنظمة الغاز المتكاملة (IGS) المستخدمة في معدات أشباه الموصلات عادة من مكونات مثل صمامات الحجاب الحاجز ، وصمامات الفحص ، والمنظمين ، والمرشحات ، وأجهزة استشعار الضغط ، ووحدات تحكم تدفق الكتلة ، والركائز. عادة ما تكون هذه المكونات مثبتة على السطح ويتم إغلاقها باستخدام W-Seal أو C-seal. يعد اختيار نوع الختم أمرًا ضروريًا في تحديد أداء ختم النظام. في هذا الحديث التقني ، سنناقش أوجه التشابه والاختلاف بين W-Seal و C-seal.

أوجه التشابه بين W-Seal و C-seal

W-Seal و C-seal كلا النوعين من الأختام المعدنية. على عكس الأختام غير المعدنية مثل المطاط أو المركبة ، لا تتدهور الأختام المعدنية بمرور الوقت بسبب الضغط ، ولديها توافق كيميائي جيد. تتكون حشيات Ichor W-Seal (سلسلة IWG) وحشيات C-seal (سلسلة ICG) من الفولاذ المقاوم للصدأ 316L أو 316L VAR وفقًا لعملية نقاء ICHOR ULTRA عالية (FC-03). هذه الحشيات مصقول كهربائيا للوصول إلى خشونة السطح من ra ≤ 5 μin. (0.13 ميكرون) ، والذي يتوافق مع نصف F19 UHP. مع أداء ختم ممتاز ، معدل تسرب الوجه الخاص بهم (الهيليوم) ≤ 1 × 10 ^-9 الأمراض المنقولة جنسيا CM ³ /s.

بالمقارنة مع ختم اللحام أو ختم الوجه المعدني ، فإن W-Seal و C-seal أكثر إحكاما ويمكن أن تقلل بشكل كبير من حجم أنظمة توصيل الغاز. في المناسبات التي تتطلب تدفقًا محدودًا ، تتوفر حشيات ختم مع فتحة محددة.

الاختلافات بين W-Seal و C-seal

تم تصميم حشيات W-seal (سلسلة IWG) بهيكل "عائم" ، مما يتيح لوجه الختم أن يكون مستقلاً عن المكونات التي تتلقى قوى خارجية. أثناء التثبيت ، يضغط الوجه الختم للحشية ضد المكونات المثبتة على السطح (مثل جسم صمام W-seal) والركائز ويشكل الختم. يمكن تثبيت كل W-seal في النظام بشكل فردي ، مما يجعل من السهل إزالة وإعادة التثبيت عند تعديل تخطيطات النظام. بالإضافة إلى ذلك ، تقدم مجموعة خدمة ICHOR (NO: SC-IGS-11) ملاقط بحشية لحشيات W-SEAL لضمان تركيب الجودة للحشية.

يشبه قسم حشية C-seal (سلسلة ICG) الحرف "C" مع اثنين من رؤساء الختم المسطحة على كلا الجانبين. عند تشديده بشكل صحيح ، تحطيم أعلى وأسفل الحشية ضد المكونات المثبتة على السطح (مثل جسم صمام C-seal) ووجوه الختم المتصلب للركائز وإنشاء الأختام. بالإضافة إلى ذلك ، يمكن أن تساعد قوس حشية C-seal في تحديد موقع حشيات متعددة في وقت واحد.